為貫徹落實黨中央、國務(wù)院關(guān)于加強基礎(chǔ)研究和提升原始創(chuàng)新能力的重要戰(zhàn)略部署，國家自然科學(xué)基金委員會（以下簡稱自然科學(xué)基金委）工程與材料學(xué)部擬資助“芯片亞納米級制造前沿探索”原創(chuàng)探索計劃項目（以下簡稱原創(chuàng)項目）。
　　后摩爾時代芯片先進(jìn)制程工藝將邁入1 nm節(jié)點，亞納米級制造貫穿芯片制造工藝的全流程。然而，亞納米制造涉及從經(jīng)典連續(xù)力學(xué)行為到量子行為的跨越，存在原子間、原子與能場間復(fù)雜的相互作用，因此亟需發(fā)展面向未來芯片的亞納米級制造新原理與新方法。
　　一、科學(xué)目標(biāo)
　　本項目圍繞未來芯片制造面臨的共性基礎(chǔ)科學(xué)問題，旨在通過揭示表界面亞納米級尺度的定域、定量、定勢調(diào)控機制，建立亞納米級精度表面與結(jié)構(gòu)的可控加工方法，為發(fā)展原子級制造開展先導(dǎo)性探索，支撐新一代芯片制造關(guān)鍵工藝和裝備能力的升級換代。
　　二、資助方向
　�。ㄒ唬┬酒�制造過程中的亞納米級去除新原理與新方法。
　　開展多元互連異質(zhì)表面亞納米級可控去除基礎(chǔ)研究，探索亞納米級可控去除的限域作用機理及多源能量調(diào)控機制，發(fā)展外場調(diào)控多元異質(zhì)材料亞納米級同步去除技術(shù)，形成宏觀尺度互連異質(zhì)表面亞納米級一致去除控制的拋光工藝、技術(shù)與裝備。
　　（二）芯片先進(jìn)制程中的三維亞納米級結(jié)構(gòu)構(gòu)筑新原理與新方法。
　　開展極小尺度、極高深寬比亞納米結(jié)構(gòu)精準(zhǔn)制造基礎(chǔ)研究，探究原子級表面改性與反應(yīng)調(diào)控機制，發(fā)展亞納米級表面改性的壓印模板制造與選區(qū)沉積技術(shù)，形成芯片三維互連亞納米結(jié)構(gòu)的壓印成形與原子級精準(zhǔn)沉積制造工藝與裝備。
　�。ㄈ�）第四代半��(dǎo)體材料的亞納米級制造新原理。
　　發(fā)展金剛石等第四代半導(dǎo)體材料的“時-空-頻”多參數(shù)協(xié)同調(diào)控的激光制造等亞納米級制造新原理新技術(shù)；開展典型構(gòu)件幾何特性、物化特性的跨尺度表征，建立其性能和制造之間的關(guān)系。
　�。ㄋ模┬酒瑏喖{米級制造過程中的缺陷檢測與修復(fù)。
　　探索芯片亞納米級制造過程中缺陷的形成機制，研究缺陷對外部能場的限域反應(yīng)機制，發(fā)展超高時空精度的表面、亞表面缺陷一體化檢測技術(shù)，揭示外加能場作用下原子有序重構(gòu)規(guī)律，形成基于原子排布精準(zhǔn)調(diào)控的缺陷消除和修復(fù)新方法。
　　三、資助計劃
　　本原創(chuàng)項目資助期限為3年，申請書中研究期限應(yīng)填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”。計劃資助4-5項，平均資助強度200萬/項。
　　四、申請要求
　　（一）申請資格。
　　具有承擔(dān)基礎(chǔ)研究項目（課題）或其他基礎(chǔ)研究經(jīng)歷的科學(xué)技術(shù)人員均可提出申請。
　�。ǘ�）限項申請��(guī)定。
　　1.申請人同年只能申請1項原創(chuàng)項目（含預(yù)申請）。
　　2.原創(chuàng)項目從預(yù)申請開始直到自然科學(xué)基金委做出資助與否決定之前，不計入申請和承擔(dān)總數(shù)范圍，獲資助后計入申請和承擔(dān)總數(shù)范圍。
　　3.應(yīng)符合《2023年度國家自然科學(xué)基金項目指南》中對申請項目數(shù)量的限制。
　　五、申請程序
　�。ㄒ唬╊A(yù)申請。
　　1.預(yù)申請?zhí)峤粫r間為2023年11月24日－11月26日16:00時，以國家自然科學(xué)基金網(wǎng)絡(luò)信息系統(tǒng)（以下簡稱“信息系統(tǒng)”）提交時間為準(zhǔn)，在提交時間之外提交的申請將不予受理。
　　2.請申請人登錄信息系統(tǒng)https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預(yù)申請。沒有信息系統(tǒng)賬號的申請人請向依托單位基金管理聯(lián)系人申請開戶。在信息系統(tǒng)“申請與受理”菜單下，點擊“原創(chuàng)項目預(yù)申請”，進(jìn)入預(yù)申請?zhí)顚戫撁�，選擇“指南引導(dǎo)類”，附注說明選擇“芯片亞納米級制造前沿探索”，申請代碼1應(yīng)當(dāng)填寫工程與材料科學(xué)部相應(yīng)的申請代碼（“E”字母開頭），申請代碼2根據(jù)項目研究所涉及的領(lǐng)域自行選擇相應(yīng)學(xué)科申請代碼。以上選擇不準(zhǔn)確或未選擇的項目申請不予資助。
　　3.預(yù)申請主要闡述所提學(xué)術(shù)思想的原創(chuàng)性、科學(xué)性和潛在影響力，字?jǐn)?shù)控制在2000字以內(nèi)。另外，申請人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請針對的本指南所列資助方向名稱。申請人按照信息系統(tǒng)中的有關(guān)提示填寫預(yù)申請相關(guān)內(nèi)容后直接提交至自然科學(xué)基金委。
　　4.自然科學(xué)基金委受理預(yù)申請并組織審查。審查結(jié)果將以電子郵件形式反饋至申請人。
　　（二）正式申請。
　　1.預(yù)申請審查通過的申請人，應(yīng)按照“專項項目-原創(chuàng)探索計劃項目正式申請書撰寫提綱”要求填寫正式申請書。正式申請的核心研究內(nèi)容應(yīng)與預(yù)申請一致，并要求在正式申請書正文的第一句明確寫明申請項目所對應(yīng)的本指南所列資助方向。
　　2.除特別說明外，每個原創(chuàng)項目的合作研究單位數(shù)合計不超過2個；主要參與者必須是項目的實際貢獻(xiàn)者。
　　3.申請人應(yīng)根據(jù)《國家自然科學(xué)基金資助項目資金管理辦法》《項目資金管理有關(guān)問題的補充通知》有關(guān)規(guī)定和《國家自然科學(xué)基金項目資金預(yù)算表編制說明》的具體要求，按照“目標(biāo)相關(guān)性、政策相符性、經(jīng)濟合理性”的基本原則，認(rèn)真編制《國家自然科學(xué)基金項目資金預(yù)算表》。
　　4.申請人完成申請書撰寫后，在線提交電子申請書及附件材料。
　　5.依托單位應(yīng)對本單位申請人所提交申請材料的真實性和完整性進(jìn)行審核。原創(chuàng)項目采用無紙化申請方式，依托單位只需在線確認(rèn)并及時提交電子申請書及附件材料，并在截止時間后24小時內(nèi)在線提交項目申請清單，無需報送紙質(zhì)申請書。項目獲批準(zhǔn)后，將申請書的紙質(zhì)簽字蓋章頁裝訂在《資助項目計劃書》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應(yīng)與信息系統(tǒng)中的電子申請書保持一致。
　　六、注意事項
　　（一）資助項目信息公布。
　　自然科學(xué)基金委將在官方網(wǎng)站公布資助原創(chuàng)項目基本信息。
　�。ǘ�）項目實施保��。
　　原創(chuàng)項目負(fù)責(zé)人應(yīng)將主要精力投入原創(chuàng)項目的研究中；依托單位應(yīng)加強對原創(chuàng)項目實施的監(jiān)督、管理和服務(wù)，減輕項目負(fù)責(zé)人不必要的負(fù)擔(dān)，為項目研究提供必要的制度和條件保障。
　　（三）其他。
　　原創(chuàng)項目申請與資助不設(shè)復(fù)審環(huán)節(jié)。
　　自然科學(xué)基金委將把相關(guān)項目負(fù)責(zé)人項目執(zhí)行情況和評審專家的評審情況計入信譽檔案。
　　請有意向申報的教師11月20日之前與科技處聯(lián)系。
　　聯(lián)系人：杜靜
　　聯(lián)系電話：86323626